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水轉(zhuǎn)印膜:用于形成嵌入式納米結(jié)構(gòu)的疊層轉(zhuǎn)印膜

2025/7/22 11:52:04

以下是對專利文檔 CN105899359B 的深度分析報告,涵蓋技術(shù)原理、創(chuàng)新點、權(quán)利要求布局、應(yīng)用場景及潛在價值:


1. 專利基本信息

  • 標(biāo)題:用于形成嵌入式納米結(jié)構(gòu)的疊層轉(zhuǎn)印膜
  • 申請人:3M創(chuàng)新有限公司
  • 授權(quán)公告日:2018年03月09日
  • 優(yōu)先權(quán):美國申請?zhí)?3/778,276(2013年02月27日)
  • 技術(shù)領(lǐng)域:納米結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印技術(shù),涉及顯示設(shè)備、照明裝置、光伏器件等領(lǐng)域的微納加工。

2. 核心技術(shù)方案

核心結(jié)構(gòu)

專利提出一種疊層轉(zhuǎn)印膜,由以下關(guān)鍵層構(gòu)成:

  1. 犧牲模板層
    • 犧牲材料(如聚合物)和 無機納米材料(如氧化鋯、二氧化鈦納米顆粒)。
    • 具有結(jié)構(gòu)化表面(納米/微米級特征)。
  2. 熱穩(wěn)定回填層
    • 填充模板層的結(jié)構(gòu)化表面,形成與其相符的互補結(jié)構(gòu)
    • 材料需在高溫下穩(wěn)定(如聚硅氧烷、倍半硅氧烷)。

核心工藝

  • 轉(zhuǎn)印流程
    1. 將轉(zhuǎn)印膜層合至受體基底(如玻璃)。
    2. 通過熱解或燃燒移除犧牲材料,留下無機納米材料的致密層嵌入回填層表面。
  • 關(guān)鍵優(yōu)勢
    • 犧牲材料可被“干凈烘除”(殘留灰分<50ppm),避免污染納米結(jié)構(gòu)。
    • 致密層可具備高折射率、導(dǎo)電性光學(xué)功能(如光提取增強)。

3. 創(chuàng)新點與技術(shù)突破

創(chuàng)新要素技術(shù)價值
嵌入式結(jié)構(gòu)設(shè)計納米結(jié)構(gòu)被封裝在熱穩(wěn)定層中,提升耐磨性、環(huán)境穩(wěn)定性。
犧牲材料選擇優(yōu)選低灰分聚合物(如PMMA),確保烘除后無殘留(實例1-6)。
無機納米材料功能化納米顆粒表面改性(如MEEAA),增強與犧牲材料的相容性(說明書[0089]段)。
卷對卷兼容性支持大面積連續(xù)生產(chǎn)(>2500mm),突破傳統(tǒng)光刻尺寸限制(說明書[0025]段)。

4. 權(quán)利要求布局分析

  • 獨立權(quán)利要求覆蓋核心結(jié)構(gòu)(權(quán)1、6、10、14)和方法(權(quán)18):
    • 權(quán)1:基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)(犧牲模板層+回填層)。
    • 權(quán)6:引入支撐基底(帶可剝離表面)。
    • 權(quán)10/14:擴展至犧牲支撐基底(含納米材料),實現(xiàn)雙層犧牲結(jié)構(gòu)。
  • 從屬權(quán)利要求細化技術(shù)細節(jié):
    • 犧牲材料占比(40-99wt%,權(quán)4、9、13、17)。
    • 無機粘結(jié)劑類型(金屬醇鹽/聚硅氮烷,權(quán)2、7、11、15)。
    • 致密層功能(導(dǎo)電/半導(dǎo)電,權(quán)3、13)。

5. 應(yīng)用場景與市場潛力

核心應(yīng)用領(lǐng)域

  • 顯示技術(shù)
    AMOLED光提取層(實例1-6),提升發(fā)光效率(說明書[0037]段)。
  • 光伏器件
    減反射結(jié)構(gòu)增強光捕獲(背景技術(shù)[0001]段)。
  • 建筑玻璃
    嵌入式裝飾性納米結(jié)構(gòu)(說明書[0130]段)。
  • 柔性電子
    兼容柔性玻璃(如Corning Willow®玻璃,說明書[0125]段)。

技術(shù)優(yōu)勢

  • 成本效益:避免直接在玻璃上微納加工的高成本。
  • 規(guī);芰:卷對卷工藝支持超大尺寸(>2.5m寬)。
  • 多功能性:致密層可定制為光學(xué)/電學(xué)功能層。

6. 潛在風(fēng)險與規(guī)避建議

  1. 材料限制
    • 犧牲材料需在回填層固化溫度以上分解(說明書[0068]段)。
    • 規(guī)避建議:開發(fā)低溫固化回填材料(如UV固化樹脂)。
  2. 結(jié)構(gòu)變形風(fēng)險
    • 高溫烘除可能導(dǎo)致納米結(jié)構(gòu)坍塌(圖8B流程)。
    • 規(guī)避建議:優(yōu)化回填層模量(實例中PERMANEW 6000的剛性控制)。

7. 結(jié)論

該專利通過犧牲層設(shè)計+熱穩(wěn)定回填層的創(chuàng)新架構(gòu),解決了大面積嵌入式納米結(jié)構(gòu)制造的行業(yè)難題。其核心價值在于:

  1. 工藝革新:將復(fù)雜的納米圖案化轉(zhuǎn)為膜層轉(zhuǎn)印,大幅降本增效。
  2. 應(yīng)用廣度:覆蓋顯示、能源、建筑等高增長領(lǐng)域。
  3. 專利壁壘:權(quán)利要求層層遞進,覆蓋材料、結(jié)構(gòu)、方法,形成嚴密保護網(wǎng)。

建議關(guān)注方向:柔性顯示領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化落地(如折疊屏光管理層),以及納米顆粒致密層的電學(xué)應(yīng)用拓展(如透明電極)。


附:專利關(guān)鍵附圖摘要

  • 圖1A-C:嵌入式納米結(jié)構(gòu)的三種形態(tài)(共形/部分平面化/完全平面化)。
  • 圖8A-B:犧牲層致密化工藝流程圖(熱解/燃燒形成致密層)。
  • 圖9:實例1的最終結(jié)構(gòu)(玻璃基底+SiO₂層+嵌入式ZrO₂納米結(jié)構(gòu))。

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